纯钨靶材的物理性能
钨溅射靶材的原材料是纯钨（W），因此也具有钨的物理性能，它是一种银白色的、稀有的、难熔的金属，外形看起来像钢一样，具有高熔点、高沸点、较低的蒸汽压、较小的热膨胀系数、优良的导电导热性（金属特性）、高温抗蠕变性、选择性的抗侵蚀能力等特性。
高温蠕变性指的是，在高温环境下，制品因受应力作用而发生等温形变的现象；则高温抗蠕变性指的是制品耐高温，不易发生等温形变的现象，也就是说，钨靶材可以耐受较高温而不产生形变。
蒸汽压≠大气压，蒸汽压反映的是，溶液中的少数能量较大的分子有脱离母体进入空间的倾向。
热膨胀系数指的是，物体因单位温度变化导致体积也发生变化的现象，多数情况下，该系数为正值，即体积随温度的升高而扩大。
| 钨溅射靶材的物理性能 | |
| 元素符号：W | 原子序数：74 |
| 状态/表面：固体/磨光或碱洗 | 相对原子质量：183.85 |
| 密度（g/cm3）：19.35 | 电子逸出功：4.55 eV |
| 纯度：≥99.95% | 蒸发热：823.85±20.9kJ/mol（沸点） |
| 熔点：3422℃ | 升华热：847.8 kJ/mol(25℃) |
| 沸点：5555℃（在一个标准大气压下） | 熔化潜热：40.13±6.67kJ/mol |
| 颜色：银白色或钢灰色 | 稳定同位素及其所占%： 180(0.14)；182(26.41)； 183(14.40)；184(30.64)；186(28.41) |
| 类别：过渡金属/有色金属/难熔金属/稀有金属 | 电阻温度系数：0.00482 I/℃ |
| 莫氏硬度：7.5 | W-α型：稳定的体心立方结构 |
| 压缩性：2.910－7 cm/kg | W-β型：有氧条件下才能出现，在630℃以下是稳定的，在630℃以上又转化为α钨且过程不可逆。 |
| 弹性模量： 35000~38000 MPa（丝材） |
体积模量：3.108×1011-1.579×107t+0.344×103t2 Pa |
| 扭力模量：～36000Mpa | 剪切模量：4.103×1011-3.489×107t+7.55×103t2 Pa |
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