钨溅射靶材的优缺点
钨溅射靶材的优点：
高弹性模量；
成型可塑的特点；
高熔点（3422℃）；
高纯度（≥99.95%）；
良好的导电、导热性；
选择性的抗侵蚀能力；
杂质含量和含氧量都比较低；
成分均匀，组织结构也是均匀的；
高的相对致密度（可达19.35 g/cm3）；
较低的蒸汽压（可应用于难熔和真空行业）；
较细小的晶粒尺寸，晶粒均匀且等轴，一致性较高；
抗蠕变性（尺寸的稳定性高，可以作为高温负载结构件）；
较低的热膨胀系数（对于其在LED领域的应用极为重要，将来可用作V-LED的基底材料）。
钨溅射靶材的缺点：
因为钨的质地较脆，所以钨溅射靶材不易加工，其表面易出现裂缝且容易氧化，导致其废品率高，因此其生产成本也相对较高。
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