钨溅射靶材的化学性能
钨溅射靶材是由纯度为99.95％的钨粉制备而来，即其原材料为钨（W），也就是说，它也具有钨的部分化学性能。 在常温、高温条件下的反应也类似，具体表现如下：
常温条件下：
不会和水、空气、（浓）硫酸（H2SO4）、（浓）盐酸（HCL）、氢氟酸（HF）、硝酸（HNO3）和王水等发生化学反应，而可以迅速溶解于浓硝酸和氢氟酸的混合酸中，但与碱溶液不发生反应。
王水，也叫做“王酸”，是HCL和HNO3按体积比为3:1组成的会冒黄色雾的液体，其腐蚀性很强且极易变质，需现配现用。
当温度升至80° - 100°C 时，上述各种酸中，除氢氟酸外，它会与其它酸发生微弱反应。在空气中，熔融碱可以把钨氧化成钨酸盐，如果有氧化剂（NaNO2、NaNO3、PbO2、KClO3）的存在，其反应会更强烈。
高温环境下：
在400-500℃时，会开始氧化（明显），靶材表面会形成黑褐色的胶状物，该物质为H2WO4，是因在高温、高湿环境下，钨受到电化学腐蚀的生成的。H2WO4可溶于水，在经过脱水处理后，会变成黄褐色的氧化物硬膜 - WO3。
能与碳、氮、氧、硫、氟、氯、溴和碘等化合，但是，它不与氢气反应。
W + O2 = 2WO3
W + S = WS2
W + Se = WSe2
W + Te = WTe2
与卤族元素反应，化学反应式如下所示：
W + 3F2 = WF6
W + 3Cl2 = WCl6
W + 3Br2 = WBr6
W + 2I2 = WI4
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