钨溅射靶材的化学成分
纯钨的牌号表示形式：W+数字；掺杂硅、钾、铝的掺杂钨的则表示为：WA1+数字
化学成分取样位置
除非产品标准另有规定，否则允许制造商在钨、钨合金铸锭和粉末冶金坯上进行取样分析。
取样要求
化学成分取样，应去除产品表面的油污、赃物和氧化皮等；在取样、制样过程中，应避免因氧化腐蚀和污染等原因而影响试样的成分。
化学成分分析及分析报告
分析方法
钨和钨合金产品的化学成分分析时，允许进行第二次成分分析，并以第二次的分析结果为最终判定依据。
分析报告与数值修约
在化学成分分析报告中，分析数值的有效位数应与化学成分表中相应界限数值的有效位数一致。数值修约按GB/T 8170的有关规定进行。
纯度为99.95％的钨溅射靶材的化学成分表如下图所示
| 化学成分/等级 | FW-1 | |
| 钨含量（％）≥ | 99.95 | |
| 其 它 元 素 含 量 （％） ≥ |
Fe | 0.0050 |
| Al | 0.001 | |
| Si | 0.002 | |
| Mg | 0.001 | |
| Mn | 0.001 | |
| Ni | 0.003 | |
| As | 0.0015 | |
| Pb | 0.0001 | |
| Bi | 0.0001 | |
| Sn | 0.0003 | |
| Sb | 0.0001 | |
| Cu | 0.0007 | |
| Ca | 0.002 | |
| Mo | 0.005 | |
| K+Na | 0.003 | |
| P | 0.001 | |
| C | 0.005 | |
| O | 0.2 | |
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