純鎢靶材的物理性能
鎢濺射靶材的原材料是純鎢（W），因此也具有鎢的物理性能，它是一種銀白色的、稀有的、難熔的金屬，外形看起來像鋼一樣，具有高熔點、高沸點、較低的蒸汽壓、較小的熱膨脹係數、優良的導電導熱性（金屬特性）、高溫抗蠕變性、選擇性的抗侵蝕能力等特性。
高溫蠕變性指的是，在高溫環境下，製品因受應力作用而發生等溫形變的現象；則高溫抗蠕變性指的是製品耐高溫，不易發生等溫形變的現象，也就是說，鎢靶材可以耐受較高溫而不產生形變。
蒸汽壓≠大氣壓，蒸汽壓反映的是，溶液中的少數能量較大的分子有脫離母體進入空間的傾向。
熱膨脹係數指的是，物體因單位溫度變化導致體積也發生變化的現象，多數情況下，該係數為正值，即體積隨溫度的升高而擴大。
主要的物理性能如下表所列：
| 鎢濺射靶材的物理性能 | |
| 元素符號：W | 原子序數：74 |
| 狀態/表面：固體/磨光或堿洗 | 相對原子品質：183.85 |
| 密度（g/cm3）：19.35 | 電子逸出功：4.55 eV |
| 純度：≥99.95% | 蒸發熱：823.85±20.9kJ/mol（沸點） |
| 熔點：3422℃ | 昇華熱：847.8 kJ/mol(25℃) |
| 沸點：5555℃（在一個標準大氣壓下） | 熔化潛熱：40.13±6.67kJ/mol |
| 顏色：銀白色或鋼灰色 | 穩定同位素及其所占%： 180(0.14)；182(26.41)； 183(14.40)；184(30.64)；186(28.41) |
| 類別：過渡金屬/有色金屬/難熔金屬/稀有金屬 | 電阻溫度係數：0.00482 I/℃ |
| 莫氏硬度：7.5 | W-α型：穩定的體心立方結構 |
| 壓縮性：2.910－7 cm/kg | W-β型：有氧條件下才能出現，在630℃以下是穩定的，在630℃以上又轉化為α鎢且過程不可逆。 |
| 彈性模量： 35000~38000 MPa（絲材） |
體積模量：3.108×1011-1.579×107t+0.344×103t2 Pa |
| 扭力模量：～36000Mpa | 剪切模量：4.103×1011-3.489×107t+7.55×103t2 Pa |
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