鎢濺射靶材的化學性能
鎢濺射靶材是由純度為99.95％的鎢粉製備而來，即其原材料為鎢（W），也就是說，它也具有鎢的化學性能。
鎢濺射靶材具有鎢的部分化學性質，在常溫、高溫條件下的反應也類似，具體表現如下：
常溫條件下：
不會和水、空氣、（濃）硫酸（H2SO4）、（濃）鹽酸（HCL）、氫氟酸（HF）、硝酸（HNO3）和王水等發生化學反應，而可以迅速溶解於濃硝酸和氫氟酸的混合酸中，但與堿溶液不發生反應。
王水，也叫做“王酸”，是HCL和HNO3按體積比為3:1組成的會冒黃色霧的液體，其腐蝕性很強且極易變質，需現配現用。
當溫度升至80° - 100°C 時，上述各種酸中，除氫氟酸外，它會與其他酸發生微弱反應。在空氣中，熔融堿可以把鎢氧化成鎢酸鹽，如果有氧化劑（NaNO2、NaNO3、PbO2、KClO3）的存在，其反應會更強烈。
高溫環境下：
在400-500℃時，會開始氧化（明顯），靶材表面會形成黑褐色的膠狀物，該物質為H2WO4，是因在高溫、高濕環境下，鎢受到電化學腐蝕的生成的。H2WO4可溶于水，在經過脫水處理後，會變成黃褐色的氧化物硬膜 - WO3。
能與碳、氮、氧、硫、氟、氯、溴和碘等化合，但是，它不與氫氣反應。
與氧族元素反應，化學反應式如下所示：
W + O2 = 2WO3
W + S = WS2
W + Se = WSe2
W + Te = WTe2
與鹵族元素反應，化學反應式如下所示：
W + 3F2 = WF6
W + 3Cl2 = WCl6
W + 3Br2 = WBr6
W + 2I2 = WI4
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