鎢濺射靶材用途
鎢濺射靶材的常用類型有平面靶型、電弧靶型和旋轉靶型。
鎢濺射靶材的用途:
(1)裝飾鍍膜
在裝飾工件(電腦殼、手機殼、手錶的錶帶、項鏈、戒指、耳環等)上鍍膜可以提高其耐腐蝕、耐磨和耐高溫等性能,延長產品的使用壽命,也可以起到美化作用。
目前,常用來裝飾鍍膜的靶材有W、Ti、Ni、Al、Cr和不銹鋼等,在通入N2、O2等氣體後,可形成多種色彩,如古銅色、銀白色、金黃色、玫瑰色和灰黑色等。
(2)工模具鍍膜
在工具(鑽頭、刀頭等)或精密模具(精密零配件、粉末冶金模具等)上鍍膜
現在常用來工模具鍍膜的靶材材料有W、Ti、TiN、TiC、CrN、Ti-Al合金等超硬金屬。
(3)太陽能電池鍍膜
鎢濺射靶材用於太陽能電池鍍膜可以改善太陽能電池的光學性能。
太陽能電池是一種光電半導體薄片,可直接利用太陽所釋放的能量進行發電,被光照到的瞬間就可以輸出電壓。
根據其分類的不同,鍍膜材料也有所不同,常用的太陽能電池鍍膜材料有W、Si、Ti、Mo、Al、Ag、Cr、Cu、ZnO等。
(4)玻璃鍍膜等
需要鍍膜的玻璃材料有建築玻璃、汽車玻璃和光學玻璃等。靶材在玻璃上的應用主要是製作低輻射鍍膜玻璃(也被叫做節能玻璃),即利用磁控濺射原理在玻璃上濺射多層薄膜,以達到節能、控光、裝飾的作用。
(5)石油、化工和電子資訊產業(半導體積體電路、資訊記憶體、電子控制項等)等領域
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