鎢濺射靶材的生產工藝
得益於鎢濺射靶材本身所具有的優點,其已被廣泛用於航空、電子資訊產業、醫療和熔煉設備等需要鍍膜領域。靶材可以由鎢粉或直接用鎢坯製備,可以運用真空熔煉、普通熱壓、冷壓燒結等方法,通過金屬熔煉、粉末冶金、非金屬粉末方法成型。
鎢濺射靶材的生產工藝:
鎢濺射靶材經鎢粉衝壓成型,燒結,熱等靜壓壓制,開花,冷軋,退火,切割加工之後和一個銅背板綁定。
通過鍛造、熱軋或冷軋,再經過熱處理消除靶材應力並使之均質化或通過高溫燒結增加其緻密性。
對處理過的靶材進行車、銑、刨、磨等機加工過程。
清洗、烘乾。
有時根據需要對某些靶材地面金屬化後進行與無氧銅背板的綁定。
最後經過超聲波或者X光等檢測,包裝。
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