텅스텐 대상 물리적 특성
텅스텐 스퍼터링 타겟의 재료로는 순수한 텅스텐 (W), 그래서 또한 실버 화이트, 레어 내화성 금속 인 텅스텐의 물성을 갖고, 고 융점, 강철과 같은, 높은 비등점, 낮은 증기 보이는 압력, 작은 열팽창 계수, 우수한 전기 및 열 전도성 (금속 특성), 고온 크리프 저항성, 침식 저항성 및 다른 특성의 선택성.
스트레스, 등온 변형 현상을 나타 인해 고온 크리프 특성은 높은 온도 환경, 제품에,을 의미한다. 고온 크립 저항성이 제품은 고온 내성의 성질을 소유하고 등온 변형을 표시하는 것은 쉽지 않다 현상을 언급하는 반면, 그 텅스텐 타겟이 변형없이 높은 온도를 견딜 수있는, 말하자면.
증기 압력 ≠ 대기압. 증기 압력은 용액에서 더 큰 에너지와 몇 가지 분자가 공간에 몸에서 탈출하는 경향이 있음을 반영한다. 열팽창 계수는 볼륨이 온도 증가와 함께 확장, 즉, 그 유닛의 온도 변화 등의 오브젝트 볼륨 변경은, 대부분의 경우, 계수가 양 현상을 의미한다.
주요 물리적 특성은 다음과 같습니다 :
텅스텐 타겟의 물성
요소 기호 : W
원자 번호 : 74
상태 / 표면 :고체 / 광택 또는 가성
상대 원자 질량 : 183.85
밀도 (g / cm3) : 19.35
전기 공사 기능 : 4.55 eV의
순도 : ≥99.95 %
기화 열 : 823.85 ± 20.9kJ / 몰 (끓는)
녹는 점 : 3422 ℃
승화 열 : 847.8 kJ의 / 몰 (25 ℃)
끓는점 : 5555 ℃ (표준 대기압에서)
융합의 잠열 : 40.13 ± 6.67kJ / 몰
색상 : 실버 또는 스틸 그레이
안정 동위 원소 및 계정%를 : 180 (0.14); 182 (26.41); 183 (14.40); 184 (30.64); 186 (28.41)
카테고리 : 전이 금속 / 비철 금속 / 내화성 금속 / 희귀 금속
저항 온도 계수 : 0.00482 I / ℃
모스 경도 : 7.5
압축률 : 2.910-7 CM / ㎏
W-α 유형 : 안정된 체심 입방 구조
W-β 유형 : 630 ℃ 이하 안정되어있는, 호기성 조건에서 표시되며, 630 ℃ 이상 toαtungsten 변환됩니다 프로세스는 되돌릴 수 없습니다.
탄성 계수 : 35000 ~ 38000 MPa의 (선)
대량 계수 : 3.108 × 1011-1.579 × 107t + 0.344 × 103t2 아빠
비틀림 계수 : ~ 36000Mpa
전단 계수 : 4.103 × 1011-3.489 × 107t + 7.55 × 103t2 아빠
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