텅스텐 스퍼터링 타겟
텅스텐 스퍼터링 타겟은 무엇인가?
텅스텐 스퍼터링 타겟, 사람들은 또한, 그 직접 필름 재료의 성질에 영향을 미칠 것이다 품질 때문에 표적 물질은 다음의 요건을 충족해야 텅스텐 타겟으로서 호출;
1. 고순도. 텅스텐 스퍼터링 타겟의 순도가 높을 경우, 스퍼터링 효과 - 필름의 내식성 강할 것이고, 그것의 전기 광학적 특성이 더 좋을 것이다. 일반적으로, 순도 요건 디스플레이 및 기타 반도체 소자는, 예를 들면, 자성 박막 텅스텐 스퍼터링 타겟의 순도가 99.9 % 이상이어야한다, 엄격한;
2. 높은 밀도 19.1g / ㎤의 이상;
3. 입자 크기가 작아야한다. 통상적으로, 입자의 순서는 타겟 물질, 빠른 잡곡보다 스퍼터링 타겟의 미세 입자 크기의 비율과 동일한 조성물, μm의 발 mm이고;
4. 불순물 함량은 낮아야한다. 대상 재료는 캐소드로서 작용하고, 스퍼터링 타겟의 주요 오염원은 물, 산소와 같은 기공, 및 고체 불순물이다. 낮은 불순물 함량, 높은 순도;
5. 구성과 조직 구조는 균일해야한다.
대상의 유형
성분에 의한 분류가, 타겟은 순수한 금속 타겟 합금 타겟과 세라믹 타겟으로 나눌 수있다.
상세히 타겟 타입은 아래와 알 수
| 종 | 구성 |
| 순수 금속 | W, Mo, Ni, Ti, Al, Ag, Si, In, Sn and so on |
| 합금 | W-Cu, Ag-W, Cu- Ni, Mo- Al and so on |
| 세라믹 | NiO, WO3, TiN, SiO, FeO, SiC , ZnO, TiN, MgO, SiN, CrO, ZnS, SiO2, AlN, etc. |
당신이 다른 질문이나 도핑 된 텅스텐 와이어의 문의가있는 경우, 다음과 같은 방법을 통해 문의 해 주시기 바랍니다:
E-mail:sales@chinatungsten.com sales@xiamentungsten.com
Tel.: +86 592 5129696/86 592 5129595
팩스 :+86 592 5129797
더 많은 정보: 텅스텐 레늄 와이어 좌초 된 텅스텐 와이어 청소 텅스텐 와이어
sales@chinatungsten.com;