タングステンターゲットの物理的性質
タングステンスパッタリングターゲットの材料は、純タングステン（W）であり、それはまた、銀白色、希少と高融点金属であるタングステンの物理的特性を有し、かつ高融点、鋼のような、高沸点、低蒸気を探し圧力、小さな熱膨張係数、優れた電気及び熱伝導性（金属的性質）、高温耐クリープ性、耐エロージョン性及び他の特性の選択。
高温クリープ特性は、等温変形現象が現れ、応力による、高温環境、製品中に指す。高温耐クリープ性製品は、高温耐性の特性を所有し、等温変形が現れることは容易ではないという現象を指すのに対し、すなわち、タングステンターゲットを変形することなく高温に耐えることができます。
蒸気圧≠気圧。蒸気圧は、溶液中でより大きなエネルギーを有するいくつかの分子が空間に本体から逃げる傾向があることを反映している。熱膨張係数は、ほとんどの場合、その単位温度変化などのオブジェクトの体積変化、という現象を意味し、係数である、体積は、温度が上昇すると膨張する、正です。
次の表に記載されている主な物理的性質：
元素記号：W
原子番号：74
ステータス/表面：ソリッド/研磨又は苛性
相対原子質量：183.85
密度（G / CM3）：19.35
電子仕事関数：4.55 eV
純度：≥99.95％
気化熱：823.85±20.9kJ /モル（沸騰）
融点：3422℃
昇華の熱：847.8 kJの/モル（25℃）
沸点：5555℃（標準大気圧で）
融解潜熱：40.13±6.67kJ /モル
カラー：シルバーやスチールグレー
安定同位体とそのシェア％：180（0.14）; 182（26.41）; 183（14.40）; 184（30.64）; 186（28.41）
カテゴリ：遷移金属/非鉄金属/高融点金属/レアメタル
抵抗の温度係数：0.00482 I /℃
モース硬度：7.5
圧縮：2.910〜7センチメートル/ kg
W-αタイプ：安定した体心立方構造
W-βタイプ：630℃以下、好気的条件下で表示するには、630℃、タングステンとαに変換され、プロセス不可逆性上記の安定しています。
弾性率：35000〜38000 MPaの（ワイヤー）
体積弾性率：3.108×1011から1.579×107トン+ 0.344×103t2 Pa
剛性率：〜36000Mpa
せん断弾性係数：4.103×1011から3.489×107トン+ 7.55×103t2 Pa
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