タングステンターゲットの利点と欠点
タングステンターゲットは、以下の利点を所有しています。
高弾性率、
これは、成形プラスチック機能を備えています。
高融点（3422℃）。
高純度（≥99.95％）。
良好な電気伝導性、熱伝導性を有します。
選択耐腐食性。
その不純物及び酸素含有量は比較的低いです。
その組成や組織構造は、すべて揃っています。
相対密度の高い（19.35グラム/ cm 3でまで）。
微細な結晶粒径を有する、均一で粒子と高い整合性を等軸。
耐クリープ性（高温負荷構造として使用することができ、高寸法安定性）と。
低熱膨張係数（これは、V-LEDは、将来的に、基材として使用することができるLEDの分野における応用のために不可欠です）。
タングステンターゲットは、次のような欠点を所有しています。
タングステンテクスチャが脆いので、タングステンターゲットは加工が困難であるため、その表面に高い除去率が得られ、亀裂及び容易に酸化しやすいので、製造コストが比較的高いです。
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