Volfram Hedef Çalışma Prensibi
tungsten hedefin hammadde olan yaygın türü ark hedef türünü, düzlemsel hedef türünü ve döner hedef türünü olan tungsten tozu vardır.
Elektrik alan tarafından hızlandırılmış pozitif iyonlar (bundan enerjik parçacıklar denir), bu hedef yüzeyini bombardıman olacak, bu enerjik parçacıklar hedef yüzeyinde moleküller ve atomlar ile enerji alışverişinde bulunacaklar ve daha sonra bu atomlar dışarı püskürtme olacak: Saçtırma yüzeyi hedef.
Vakumlu püskürtme kaplama (film birikimi püskürtme): atomlar dışarı püskürtülen belli bir kinetik enerji sahibi, çünkü onlar bu süreç vakum püskürtme kaplama olarak bilinen, hedef yüzeye dönmek ve ince bir film oluşturabilir.
Çalışma prensibi Tungsten hedef:
Yüksek vakum odası (10-3-10-4Pa), katot (püskürtülmüş hedef elektrot) ile anot arasındaki bir ortogonal manyetik ve elektrik alanı, ekleme ve daha sonra bir atıl gaz (argon gazı) ile doldurun olarak. Hedef maddenin yüzeyinde, kalıcı mıknatıs yüksek gerilim elektrik alanı ile bir çapraz elektrik ve manyetik alan oluşturan bir manyetik alan oluşturur. Elektrik alanında Argon gazı iyonları ve elektronlar, nedeniyle manyetik alan etkisi, hedef elektrot yayılan elektronların içine iyonize edecek, bu katot yakın (yüksek yoğunluklu) plazmayı oluşturacaktır. Ar iyonları hızlandırmak ve hedef yüzeyini bombardıman ve ardından atomlar hedeften dışarı sputter ve daha kinetik enerjiyle substrata sinek ve sonra filmi de mevduat.
Ne volfram hedef aşağıdaki gibi gösterilen dikkate almak gerekiyor:
(1) film saflığı. Vakum derecesi daha iyi olmalı; alt-tabaka olarak temizlenmelidir.
(2) Biriktirme oranı. Uygun biriktirme hızı artarsa, püskürtme hızı artırılacaktır.
(3) Film kalınlığı dağılımı. Film kalınlığı, görece eşit olmalıdır.
Püskürtme gazının (4) seçimi. Argon, genellikle bir püskürtme gazı olarak seçilir.
(5) püskürtme gerilimi ve alt-tabaka potansiyeli. Yüzey askıya alınamaz.
volfram hedefin (6) Saflık. volfram, hedef yüzeyi üzerinde oksitler ve safsızlıklar filmin saflığı kirletecektir.
(7) alt-tabakanın sıcaklığı. Sıcaklık çok yüksekse, bu filmin yapısını etkiler.
E-posta: sales@chinatungsten.com sales@xiamentungsten.com
Tel .: +86 592 5129696/86 592 5129595
Faks: +86 592 5129797
Daha Fazla Bilgi: Tungsten Renyum Tel Örgülü Tungsten Tel Temizlenmiş Tungsten Tel
sales@chinatungsten.com;