Volfram Püskürtme Hedef
Tungsten fışkırtması hedef nedir?
Volfram fışkırtması hedef, insanlar da, onun doğrudan film malzemelerinin özelliklerini etkileyecektir kalite, bu nedenle hedef malzemeleri aşağıdaki gereksinimleri karşılaması gerekir Volfram Hedef olarak diyoruz;
1. Yüksek saflıkta. Tungsten, püskürtme hedeflerinin saflığı yüksek ise, püskürtme etkisi - filmin korozyon direnci güçlü olacak ve elektrik ve optik özellikleri daha iyi olacaktır. Genellikle, saflık gereksinimleri için görüntüler ve diğer yarı iletken cihazlar, örneğin manyetik ince film için tungsten püskürtme hedefinin saflığı% 99.9 daha yüksek olmalıdır, sıkı vardır;
2. Yüksek yoğunluklu: 19.1 g / cm³ az olmamak;
3. Tane boyutu küçük olmalıdır. Genellikle, tahıl sırası hedef malzemeler, daha hızlı sonuçlanması iri taneler daha püskürtme hedeflerinin ince taneli oranının, aynı bileşimin, um arasında mm kadardır;
4. Kirlilik içeriği düşük olmalıdır. Hedef malzeme bir katot olarak hareket eder ve püskürtme hedef temel kirlilik kaynakları, su, oksijen gibi gözenekler ve katı yabancı maddelerin arasındadır. Alt kirlilik içeriği yüksek saflıkta;
5. kompozisyon ve organizasyon yapısı muntazam olmalıdır.
Hedef türleri
Bileşeni tarafından sınıflandırılması, hedef saf metal hedefe, alaşım hedef ve seramik hedefin ayrılabilir.
Detaylı Hedef türleri aşağıda görülebilir
| tür | kompozisyon |
| saf metal | W (tungsten), Mo (molibdenum), Ni (nikel), Ti (titanyum), AI (indiyum) içinde (alüminyum), AG (gümüş), si (silikon), Sn (kalay) ve benzerleri |
| alaşım | W-Cu (bakır tungsten alaşım), Ag-W (gümüş tungsten alaşım), Cu Ni (bakır-nikel alaşımı), Mo Al (Mo alüminyum) ve benzeri |
| seramik | İTO hedef [Ino (indiyum oksit), SnO (kalay oksit)], NiO (nikel oksit), WO3 (tungsten trioksit), TiN (titanyum nitrür), SiO (silikon monoksit), FeO (demir oksit), SiC (silisyum karbür ), ZnO (çinko oksit), TiN (titanyum nitrür), MgO (magnezyum oksit), SİN (silisyum nitrür), CrO (krom oksit), ZnS (çinko sülfür), SiO2 (silisyum dioksit), AlN (alüminyum nitrür), vb |
E-posta: sales@chinatungsten.com sales@xiamentungsten.com
Tel .: +86 592 5129696/86 592 5129595
Faks: +86 592 5129797
Daha Fazla Bilgi: Tungsten Renyum Tel Örgülü Tungsten Tel Temizlenmiş Tungsten Tel
sales@chinatungsten.com;