Wolfram-Target in Dünnfilmmaterial
Es gibt zwei Arten von Film, Dünnfilm und Dickfilm. Wenn die Dicke der Folie weniger als 1 um ist, ist es Dünnschicht; wenn mehr als 1 um, es ist dicker Film.
Gemeinsame Kunststoffolienmaterial sind Nylonfolie (PA), Beschichten Aluminiumfilm, Polyesterfilm (PET), Polyethylen-Folie niedriger Dichte (LDPE), biaxial orientierte Polypropylenfolie (BOPP) und so weiter. Filmmaterialien sind weit verbreitet in der Medizin, Chemie, Nahrungsmittel und anderen Bereichen angewendet, in der Lebensmittelverpackung entfällt der größte Anteil, wie Fast-Food-Verpackungen, Tiefkühlverpackungen, Getränkeverpackungen und so weiter.
Heutzutage gibt es eine neue Methode --- physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) verwendet wurden, um Dünnfilmmaterial, bei dem Wolfram-Target fungieren als Ziel Ziel stottern. Der dünne Film durch dieses Verfahren hergestellt besitzt die Eigenschaften einer hohen Dichte, einer guten Haftung und glatte Oberfläche ohne Risse, zweischa, Laminierung und Verunreinigungen. Mit der wachsenden Nachfrage nach hochreinen Metallen und Legierungen, hat Magnetron-Sputter-Technologie und nach in die Öffentlichkeit trat.
Physikalische Dampfabscheidung (PVD) ist eine Art von Dampfabscheidungstechnik und die anderen beiden sind chemische Dampfabscheidung (CVD) und Plasma-Gasphasenabscheidung (PCVD-), ist die Einstufung in Übereinstimmung mit der Filmbildungsmechanismus. Wolfram-Filmmaterialien werden gewöhnlich durch Annahme eines der Verfahren oder die Kombination mit anderen Herstellungstechnologie, um die Leistung der Wolframschicht zu verbessern, hergestellt.
Physikalische Gasphasenabscheidung bezieht sich auf die Abscheidungstechnologie, die die durch Verdampfung, Ionisation / Sputtern und andere Verfahren erzeugten Metallpartikel wird eine Verbindung mit Reaktionsgas und Ablagerung auf der Werkstückoberfläche zu bilden.
Physikalische Dampfabscheidungsverfahren umfasst Vakuumzerstäubung, Ionenplattierung und Vakuumbeschichtung, dadurch gekennzeichnet, Ionenplattieren hat eine breitere Anwendung.
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