Tungstène cibles Propriétés physiques
Le matériau de la cible de tungstène de pulvérisation est tungstène pur (W), il a donc également les propriétés physiques de tungstène, qui est des métaux argent-blanc, rares et réfractaires, et ressemble à l'acier, ayant un point de fusion élevé, haut point d'ébullition, la vapeur basse pression, faible coefficient de dilatation thermique, une excellente conductivité électrique et thermique (propriétés métalliques), la résistance au fluage à haute température, la sélectivité de résistance à l'érosion et d'autres propriétés.
Propriétés de fluage à haute température se réfère à, dans un environnement à haute température, le produit, à cause du stress, apparaîtra phénomène de déformation isotherme. Alors que la résistance au fluage à haute température se référant au phénomène que les produits possèdent des propriétés de résistance à haute température et ne sont pas faciles à apparaître déformation isotherme, à savoir, la cible de tungstène peut tolérer des températures plus élevées sans se déformer.
Pression de vapeur ≠ pression atmosphérique. Pression de vapeur reflète que quelques molécules à plus grande énergie en solution ont une tendance d'échapper du corps dans l'espace. Coefficient de dilatation thermique signifie le phénomène que les changements de volume de l'objet que ses changements de température de l'unité, dans la plupart des cas, le coefficient est positif, qui est, le volume d'élargir la hausse des températures.
Ses principales propriétés physiques sont énumérés ci-dessous:
Les propriétés physiques de la cible de tungstène
Élément symbole: W
Numéro atomique: 74
Statut / Surface: solide / poli ou caustique
Masse atomique relative: 183.85
Densité (g / cm3): 19,35
Fonction de travail électrique: 4,55 eV
Pureté: ≥99.95%
Chaleur de vaporisation: 823,85 ± 20.9kJ / mol (ébullition)
Point de fusion: 3422 ℃
Chaleur sublimation: 847,8 kJ / mol (25 ℃)
Point d'ébullition: 5555 ℃ (à une pression atmosphérique normale)
La chaleur latente de fusion: 40.13 ± 6.67kJ / mol
Couleur: Argent grise ou en acier
Les isotopes stables et représentent%:
180 (0,14); 182 (26,41); 183 (14,40); 184 (30,64); 186 (28.41)
Catégorie: métal de transition / métaux non ferreux / métal réfractaire / métal rare
Résistance à coefficient de température: 0,00482 E / ℃
La dureté de Moh: 7,5
W-α Type: stable structure cubique centrée
Compressibilité: 2,910 à 7 cm / kg
Type de W-β: apparaît dans des conditions aérobies, qui est stable en dessous de 630 ℃, et vous permet de convertir toαtungsten dessus de 630 ℃ et le processus est irréversible.
Module d'élasticité: 35000 ~ 38000 MPa (fils)
Module vrac: 3.108 × 1011 à 1,579 × 0,344 × 107T + 103t2 Pa
Module de torsion: ~ 36000Mpa
Le module de cisaillement: 4.103 × 1011 à 3,489 × 107T + 7,55 × 103t2 Pa
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