Вольфрам целевой Принцип работы
Сырье вольфрамовой мишени является порошок вольфрама, простые типы дуги целевой тип, плоскую мишень типа и поворотного типа цели.
Распыление: Когда положительные ионы ускоряются электрическим полем (далее энергичные частицы), он будет бомбардировать поверхность мишени, эти энергичные частицы обмениваются энергией с молекулами и атомами на поверхности мишени, а затем эти атомы распыления из поверхности мишени.
Вакуумный распыление покрытия (напыления осаждения пленки): потому атомов исчерпала собственный определенный кинетическую энергию, они могут вернуться к поверхности мишени и образует тонкую пленку, этот процесс известен как вакуумное распыления покрытия.
Вольфрамовой мишени принцип работы:
В вакуумной камере высокого (10-3-10-4Pa), добавление ортогональный магнитного и электрического поля между катодом (электрод-мишень распыленных) и анодом, а затем заполнить его с инертным газом (аргона). На поверхности материала мишени, постоянный магнит создает магнитное поле, которое будет сочинить скрещенных электрическом и магнитном поле с высоким напряжением электрического поля. Газообразный аргон в электрическом поле будет ионизировать на ионы и электроны, и электронов, испускаемых из мишени электрода, вследствие эффекта магнитного поля, он образует плазму (с высокой плотностью) вблизи катода. Ar ионы ускоряют и бомбардируют поверхность мишени, а затем атомы распыления из мишени и лететь на подложке с большей кинетической энергией, а затем внести в фильм.
Что вольфрама цель должна учитывать, как показано далее:
(1) Чистота пленки. Степень вакуума должна быть лучше;Основание должно быть очищено.
(2) Нанесение ставка. Если увеличивается скорость осаждения Соответственно, распыления ставка будет повышена.
(3) распределение толщины пленки. Толщина пленки должна быть относительно однородной.
(4) Отбор газа распыления. Аргон обычно выбирают в качестве распыления газа.
(5) распыление напряжения и потенциал подложки. Субстрат не может быть приостановлено.
(6) Чистота вольфрамовой мишени. Оксиды и примесей на поверхности вольфрамовой мишени будет загрязнять чистоту фильма.
(7) Температура подложки. Если температура слишком высокая, это повлияет на структуру фильма.
Если вы имеете любой другой вопрос или запрос легированного вольфрамовой проволоки, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам с помощью следующих методов:
E-mail:sales@chinatungsten.com sales@xiamentungsten.com
телефон.: +86 592 5129696/86 592 5129595
факс: +86 592 5129797
Подробнее: Вольфрам рений проволоки Сели на мель вольфрамовой проволоки Очищенные вольфрамовой проволоки
sales@chinatungsten.com;